An Introduction to Microelectromechanical ...

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Beschreibung

Here's the first non-technical introduction to the exciting field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS -- including silicon, polymers and glass and quartz substrates -- as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications.

Details

Erscheinungsjahr:	1999
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Importe , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Buch
Inhalt:	Gebunden
ISBN-13:	9780890065815
ISBN-10:	0890065810
Sprache:	Englisch
Einband:	Gebunden
Autor:	Maluf, Nadim
Hersteller:	Artech House Publishers
Verantwortliche Person für die EU:	Libri GmbH, Europaallee 1, D-36244 Bad Hersfeld, gpsr@libri.de
Maße:	236 x 161 x 24 mm
Von/Mit:	Nadim Maluf
Erscheinungsdatum:	30.11.1999
Gewicht:	0,644 kg

Artikel-ID: 111431626

Details

Erscheinungsjahr:	1999
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Importe , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Buch
Inhalt:	Gebunden
ISBN-13:	9780890065815
ISBN-10:	0890065810
Sprache:	Englisch
Einband:	Gebunden
Autor:	Maluf, Nadim
Hersteller:	Artech House Publishers
Verantwortliche Person für die EU:	Libri GmbH, Europaallee 1, D-36244 Bad Hersfeld, gpsr@libri.de
Maße:	236 x 161 x 24 mm
Von/Mit:	Nadim Maluf
Erscheinungsdatum:	30.11.1999
Gewicht:	0,644 kg